九年纠纷终和解，国产BAW滤波器发展势不可挡

电子发烧友网报道（文/黄山明）近日，国内专注BAW滤波器的企业诺思（天津）微系统有限公司（以下简称诺思）突然公开放出一则消息，宣布已与美国安华高（博通）达成全面和解。这轮历时九年的纠纷，终是落下了帷幕。与此同时，国内BAW市场发展的脚步并未停歇，伴随着诺思与博通的和解，为国产BAW的发展加上了一个助推器。

打破国内BAW滤波器空白，但被压制了9年

BAW（Bulk Acoustic Wave，体声波）滤波器，是射频前端模块中的关键组件之一。并且因为BAW尤其适用于2.5GHz以上的高频应用，因此它们在5G通信中尤为重要，因为5G技术使用的频段远高于传统4G网络。

因此随着5G商用及物联网应用的爆炸性增长，BAW滤波器的需求显著增加。射频前端模组化已经成为产业趋势，预计到2025年，射频前端模组市场将达到177亿美元，约占射频前端市场总容量的69%。

技术上BAW滤波器在温度敏感性、插入损耗特性以及频段和宽带表现方面具有独特优势。这些特性使其在中高频段通讯中表现尤为出色，符合5G等高频通信的需求。

作为射频前端中最重要的分立器件，滤波器的作用是为了使信号中特定频率成分通过，将其余频段的信号滤除，从而提高信号的抗干扰性及信噪比，除了射频前端，也被广泛应用于通讯基站、回传链路、卫星通信、航空航天、有线宽带等各个通信相关的领域。有机构测算，BAW滤波器的成本大约是SAW滤波器的2-10倍。

但高端射频滤波器芯片长期被国外垄断，尤其在BAW上，国外的IDM大厂和专业设计公司凭借其技术积累和专利布局，形成了较高的行业壁垒。如博通、Skyworks、Qorvo、NXP、TDK、TI、英飞凌等海外企业，其中博通一家独大占据了87%的市场份额，而Qorvo则以8%的份额位列第二。

好消息是，尽管在射频芯片领域国内起步较慢，但并不意味着国内的技术远远落后。比如2011年成立的诺思，成为了中国首家FBAR（射频前端薄膜体声波滤波芯片）生产企业，也是国内少数的专注FBAR滤波器的拥有IDM模式的厂商，建有亚洲首座具有完全IP的FBAR晶圆厂。成功打破了欧美国家的技术垄断，并填补了国内在FBAR上的空白。

巧合的是，诺思微系统创始人张浩在2015年前往美国参加学术会议时，在洛杉矶国际机场被美国以“经济间谍罪”的名义逮捕，博通指控张浩和另一创始人庞慰涉嫌窃取公司滤波芯片的相关资料，并以此为基础在中国成立了诺思微系统。

自此，长达九年的诉讼便开始了。好在诺思并未因诉讼而停止研发，其后还推出了多款5G产品，包括全球首款小尺寸5G n41 BAW滤波器、全球首款高功率容量BAW滤波器以及应用于5G射频前端的超小型声波滤波器产品系列USH BAW。

直到近期，诺思公开宣布，公司已与博通达成全面和解，更重要的是，双方就某些中国专利达成交叉许可。就同一天诺思上架了一款北斗商用最尖端的FBAR滤波器，并从经销商的消息来看，2022年四季度，月产能已经可以达到80KK，足以证明国产BAW滤波器并未停下发展的脚步。

小步快跑的国产BAW滤波器

BAW滤波器因其在中高频段的出色性能，如低插入损耗和高带外抑制能力，在5G通信、物联网（IoT）、汽车智能化等领域的需求日益增加。而近几年中美贸易形势的恶化，让国产替代的浪潮愈演愈烈。

除了诺思，当前国内已经有不少机构和企业在滤波器有所积累。比如在2022年，武汉敏声与赛微电子合作共建的8英寸BAW滤波器联合产线已宣布实现全面通线，具备了进行下一步产能爬坡、良率提升及大规模量产的基础。

同时在2023年，赛微电子官宣，其首款基于MEMS技术的国产BAW滤波器实现量产，并透露该BAW滤波器产线初期产能为2000片晶圆/月，后期将扩展到10000片晶圆/月水平。

赛微电子也在近期回复投资者提问时表示，公司所制造的BAW滤波器可以应用于在5G、5.5G、6G不同网络世代背景下的基站、路由器、手机以及各种类别的无线连接终端，具体性能指标及应用领域取决于客户需求。

而开元通信在2019年推出的“矽力豹”品牌系列5G n41频段的高性能BAW滤波器产品，是国内芯片厂商在5G BAW滤波器的首次突破，也是当时国内唯一量产的8英寸BAW产品。

麦捷科技也在近期与互动平台上回复投资者表示，公司的BAW滤波器在设计方案后仍需进行流片测试，每轮流片大致用时3-4个月。此外，还有如苏州汉天下、华芯等企业也拥有对BAW滤波器的技术积累。

如汉天下的BAW滤波器出货量已经达到1亿颗，并在射频模组化方面持续发力。武汉敏声则在高钪掺杂氮化铝（ScAlN）全流程工艺上取得突破，成功研发出适用于5G频段的BAW滤波器。

据Yole预测，随着5G商用及物联网应用的爆炸性增长，BAW滤波器的需求显著增加。射频前端模组化已经成为产业趋势，预计到2025年，射频前端模组市场将达到177亿美元，约占射频前端市场总容量的69%。

当然，由于国内企业起步较晚，如博通和Qorvo等国外企业，长期占据市场主导地位，拥有大量专利和技术积累。这些公司的专利布局广泛且深入，形成了较高的技术壁垒。好消息是近年来一些国内的企业开始打破了一些技术和生产上的瓶颈，如武汉敏生一具备完整的自主知识产权，已经注册白宇翔专利，建立了多维度多层次的专利壁垒。

而诺思更是拥有300多项技术专利，覆盖设计、材料、结构、工艺、封装、测试等各个领域，在射频前端领域实现了技术领先优势。比如诺思近期在慕尼黑上海电子展出的多款高性能ICBAR滤波芯片，包括超小尺寸、高功率、高频大带宽（Kt²＞21%）等全新解决方案。

此外，国内另一家掌握5G中高频BAW芯片制备及关键装备核心技术的企业艾佛光通，更是成为国内唯一、全球第三家具有独立知识产权的5G通信核心元器件体声波滤波芯片生产能力的企业。

该企业在广州、河源两地建成了国内首条8英寸BAW滤波芯片IDM产线，产品关键性能较美日等竞品提高20%，并获多家国内外知名移动终端厂商、手机代工厂以及5G基站供应商的大规模采购使用。

值得注意的是，艾佛光通的核心产品“SABAR®”（单晶AlN高频BAW滤波器），完全有别于FBAR滤波器技术路线，各项技术指标已达到国际领先水平，备受国内外知名通讯终端企业青睐。有消息显示，该条产品的芯片生产线已实现稳定量产，年产值达15亿元。

写在最后

作为掌握全球大多市场份额的博通，在近期与诺思和解，并提到双方就某些中国专利达成交叉许可。至少可以认为，中国企业在BAW技术上，已经得到了国外领先企业的认可。

而如艾佛光通另辟蹊径的SABAR®，也让国内的BAW技术有了新的方向。可以肯定的是，国产BAW滤波器的发展已经势不可挡。

九年纠纷终和解，国产BAW滤波器发展势不可挡

导语

“美国博通与诺思（上海）微电子科技有限公司关于专利许可的纠纷达成和解。”这条新闻一经报道，就迅速引起了人们的关注，有关双方的这场“九年纠纷”也终于迎来了和解。然而，这场纠纷的背后，却与5G的发展息息相关，而“纠纷”的另一方，诺思微电子则是我国的一家BAW滤波器企业。

BAW滤波器作为射频前端模块中非常重要的一部分，也是射频前端模块的“芯芯之一”，其特点是尤其适用于高频应用，在5G通信等领域被广泛使用。而随着5G的商用和物联网应用的增长，BAW滤波器的市场需求也在显著增加，预计未来其市场规模将持续扩大。

而我国的BAW滤波器企业也正是抓住了这一良好的发展机遇，积极进取，开始在BAW技术领域崭露头角。那么，我国的BAW滤波器企业目前又处于怎样的发展阶段?未来又将会有怎样的发展态势?我国的BAW滤波器企业又将如何抓住这一良好的发展机遇?

一、9年纠纷终和解，国产BAW滤波器发展势不可挡。

2020年9月21日，美国博通公司在美国东部时间周五提交了一份文件，其中显示美国博通与上海诺思以及诺思子公司之间的一场专利纠纷于9月18日正式达成和解。

这场“九年纠纷”的起因，还要追溯到2011年，当时博通公司报告了诺思微电子公司的一项技术，认为这是一项侵犯了其专利权的技术。因此博通公司向中国国内发起了专利侵权诉讼，并发起了对诺思微电子公司的专利侵权调查。而随着调查的进行，我国的商务部最终也做出了调查决定，认定博通公司的主张属实，诺思微电子公司侵犯了博通公司的专利权。

而诺思微电子公司也因此被判罚款超过了500万元，并且在判罚后，商务部还对诺思微电子公司的相关产品进行了禁令销毁的处理。而这9年来，双方之间的专利纠纷也从未停歇过，直至今年9月份，该纷争才迎来了和解，这也为国产的BAW滤波器企业诺思微电子开辟了一条道路，也为国产的BAW发展提供了助力。

BAW滤波器的出现，可以说是一门“利基”技术，而其诞生的初衷，就是为了满足高频应用的需求。而其出现，也为5G通信的发展提供了重要保障，能够更好的解决5G通信中的高频应用问题，从而推动5G技术的发展。而随着5G的商用，以及物联网的不断发展，BAW滤波器的前景也变得愈发广阔，市场需求也愈发火热，而其市场规模也逐渐扩大。

二、市场需求增加，国产BAW滤波器逐渐崭露头角。

BAW滤波器在5G的频段中，有着非常广泛的应用，而5G的频段又主要分为两大类，一类是“Sub-6GHz”频段，另一类是“mmWave”频段。而在这两类频段中，Sub-6GHz频段则主要用于覆盖面广，而这也是5G的主要覆盖频段，而mmWave频段则主要用于提供更高的数据传输速率。

而BAW滤波器在这两类频段中，都有着广泛的应用，而其应用范围也主要分为5.2GHz、5.5GHz和5.8GHz等频段，以及26GHz、28GHz和39GHz等频段。而随着5G的商用，以及物联网的不断发展，BAW滤波器的需求也在不断增加，其在5G领域的应用也在逐渐扩大。

根据相关机构的预测数据显示，预计到2025年，5G通信领域的市场规模将超过6000亿美元，而射频前端模块的市场规模也将超过160亿美元。而在这其中，射频前端模块中的滤波器模块将占据相当大的市场份额，而在滤波器模块中，BAW滤波器所占比例也将更大。

同时，随着5G的商用，物联网的应用也在逐渐增加，而物联网中也以高频为主，因此对于高频应用要求也更为苛刻，而同时也对滤波器提出了更多的需求。因此，BAW滤波器的市场需求也将持续走高，市场规模也将继续扩大，同时也为国产的BAW滤波器企业提供了更多的发展机遇。

尽管我国的BAW滤波器企业起步较晚，但随着5G的商用，多家企业也纷纷看到了BAW滤波器的发展前景，开始对其进行积极的布局和发展。如诺思微电子、赛微电子、艾佛光通、华润微电子等都是BAW滤波器企业中的佼佼者，而这些企业又都有着自己的特点和优势。

三、多家企业积极发展，突破技术瓶颈。

诺思微电子作为我国BAW滤波器企业中的佼佼者，其研发的产品也获得了国际上的认可，其研发的多模多频段BAW滤波器在5G手机方面有着非常广泛的应用。

而赛微电子则在BAW滤波器的研发和创新方面，也取得了一些成就，同时还有着自己的优势，如赛微电子与高通合作，共同推动国产的BAW滤波器发展。而艾佛光通则在BAW滤波器的技术创新方面，也做出了一些努力，其SABAR®技术路线也被国际业界所认可，也受到了国外企业的青睐。

而华润微电子则在BAW滤波器的材料研究方面有着自己的优势，其在AlN和AlScN等材料的研究方面，也在业界有着一定的声誉。同时，国内的BAW滤波器企业在突破技术瓶颈方面也做出了一些尝试，如赛微电子对其贴片封装方案进行了优化，从而使其封装方案更加优越。

同时，赛微电子还对其代工厂的工艺进行升级，从而使其滤波器更具竞争力，同时也更具成本优势，这些都为赛微电子的产品在竞争中占据一席之地。而艾佛光通也对其SABAR®技术路线进行了一些尝试，旨在将其技术路线不断优化，从而使其产品更具市场竞争力，同时也在国际市场上占据一席之地。

此外，艾佛光通还拥有自己的封装厂，从而使其在产品的交期上较为灵活，同时还能够更好的满足客户的个性化需求，这些优势都是其他企业所不具备的。

四、国内企业备受认可，市场前景广阔。

同时，我国的BAW滤波器企业在国际上的认可度也在逐渐提升，如诺思微电子与博通达成了和解，从而也为我国的BAW滤波器企业拓展了国际市场。而艾佛光通的SABAR®技术路线也在国际业界得到认可，受到国际上的青睐，这些都为国产的BAW滤波器企业在国际市场上开辟了一片新天地，同时也为其发展提供了更多的机遇。

同时，在国内，这些企业也在为国产的BAW滤波器技术的发展做出了自己的努力，同时也不断向国际市场看齐，从而将国产的BAW滤波器技术发展到一个更高的高度。BAW滤波器作为射频前端模块中的一大关键器件，其在5G通信、物联网、无人驾驶等领域都有着广泛的应用，且应用也在不断扩大。

因此，国内的BAW滤波器企业也应抓住这一良好的发展机遇，不断加强技术研发和创新，同时加大市场拓展力度，将国产的BAW滤波器技术发挥到极致，同时也将国产的BAW滤波器技术发展到一个更高的水平。

五、国产BAW滤波器行业的势头。

国产BAW滤波器行业的势头也正迅速崛起，但与此同时，国产企业也要加强自主创新和技术积累，从而提高在全球市场的竞争力。同时，未来5G技术的发展也将进一步推动BAW滤波器市场的增长，这对国产的BAW滤波器企业也是一种机遇，国产企业也应抓住机遇，加速技术突破和市场拓展。

同时，我国的BAW滤波器企业也在不断加强与国际企业的合作，从而将国产的技术进一步提高，同时也将国产的产品推向全球，从而将国产的产品在全球市场中的份额提高。同时，BAW滤波器作为一种关键射频元器件，其在5G、物联网等领域都有着广泛的应用前景，且其市场需求也将不断增加。

因此，国产的BAW滤波器企业也应加快技术研发的步伐，同时加大研发投入，提高技术水平，不断向国际企业看齐，以占据更多的市场份额。

结语

BAW滤波器在5G通信领域有着非常广泛的应用，同时也有着较为广阔的市场前景，而我国的BAW滤波器企业也在不断前行的道路上，为国产的BAW滤波器技术发展着。BAW滤波器的发展，不仅是整个射频行业的发展，同时也是国内的射频行业在国际市场上立足的一个重要跳板。

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