芯知万物：国产MEMS浅析

一我们以感官（眼、耳、口、鼻、舌、皮肤等器官）感知世间万物，而电子产品是以MEMS传感器和执行器实现类似“感官”监测或采集功能。

前文回顾：医疗电子之感官：传感器浅析；

本文详尽梳理国产MEMS制造商。

图1 MEMS传感器和执行器（来源：Yole）

1 Sight 视觉：

Micromirrors，即MEMS微镜

1、无锡微奥科技有限公司

无锡微奥科技有限公司拥有国际水平的MEMS微镜 技术，光学MEMS芯片包括单轴、双轴、三维、线阵、M*N大阵列芯片等，具有创纪录的大角度 、大位移、高镜面填充率 、低驱动电压等独特优势，广泛应用于医学影像、生化分析、光通信、3D人脸识别以及激光雷达等多众多领域。

2、苏州希景微机电科技有限公司

苏州希景微机电科技有限公司主要从事MEMS扫描微镜 的开发和生产，并提供激光雷达核心扫描模组和发射模组。MEMS扫描微镜的镜面直径通常为数毫米，采用红外高反射薄膜，可以满足大功率激光应用的要求。微镜上集成制造了角度传感器，通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。目前公司的主要产品为直径为5mm的二维MEMS扫描微镜，具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点，主要应用领域包括汽车激光雷达（LiDAR）等3D扫描应用。此外，公司能够根据客户需求，提供不同镜面尺寸和谐振频率的单轴谐振型微镜，单轴准静态微镜，指向型微镜等定制化服务。

3、西安知微传感技术有限公司

凭借MEMS微振镜技术，知微传感还开发面向MEMS固态激光雷达所需的扫描模组，并实现传统导航激光雷达中的旋转装置芯片化。该产品具有高分辨率，高可靠性、低成本，小尺寸、易集成等优点，在机器视觉、主动避障以及自动驾驶方面有着广泛应用。

Microbolometers 微测辐射热计

1、烟台睿创微纳技术股份有限公司

烟台睿创微纳技术股份有限公司是一家专业从事非制冷红外热成像与MEMS传感技术 开发的集成电路芯片企业，致力于专用集成电路、MEMS传感器及红外成像产品的设计与制造。公司产品主要包括非制冷红外热成像 MEMS 芯片、红外热成像探测器、红外热成像机芯、红外热像仪及光电系统。睿创产品主要应用于军用及民用领域，其中军用产品主要应用于夜视观瞄、精确制导、光电载荷以及军用车辆辅助驾驶系统等，民用产品广泛应用于安防监控、汽车辅助驾驶（ADAS）、户外运动、消费电子、工业测温、森林防火、医疗检测设备以及物联网等诸多领域。

2、浙江大立科技股份有限公司

浙江大立科技股份有限公司是专业从事非制冷红外焦平面探测器 、红外热成像系统、智能巡检机器人、惯性导航光电产品研制的高新技术企业。是国内少数技术自主可控、完全知识产权、独立研发；从生产热成像核心器件、机芯组件到整机系统制造，并具有完整产业链的专业制造商之一。产品应用于国防、电力、石化、安防等行业，拥有军品非制冷焦平面红外探测器（非晶硅）生产线。

3、上海丽恒光微电子科技有限公司

上海丽恒光微电子科技有限公司在MEMS领域深耕多年，拥有独创的CMOS-MEMS单芯片集成传感器技术 ——CeMEMS（授权技术商标），并且掌握核心自主知识产权，公司正在销售的核心产品红外热像仪的主要市场目标为：安防监控、车载夜视、专业无人机、智能家居、智能手机以及健康医疗等应用。气压计主要市场目标为 智能手机、无人机、平板电脑和智能可穿戴等移动终端应用。

4、北方广微科技有限公司

北方广微科技有限公司隶属于北方夜视科技集团有限公司，是一家专业从事非制冷红外热成像系统核心控制部件--非制冷型红外焦平面探测器及机芯组件研制与生产，并具有自主独立知识产权的高新技术企业。公司专心致力于非制冷型红外焦平面探测器及机芯组件 的研发和生产，产品可以广泛应用于军用装备、电力、石化、冶金、建筑、消防、公共安全及交通夜视等领域。

5、武汉高芯科技有限公司

武汉高芯科技有限公司（以下简称“高芯科技”）, 是国内技术领先、产品线完整的红外热成像芯片技术与解决方案提供商。拥有一条国内先进的自主可控的8英寸0.25μm批产型氧化钒（VOx）非制冷红外探测器专用生产线、一条8英寸0. 5μm碲镉汞（MCT）制冷红外探测器专用生产线以及一条8英寸0. 5μm批产型二类超晶格（T2SL）制冷红外探测器专用生产线，可向全行业批量稳定供应各类高性能非制冷、制冷红外探测器 产品。公司产品及解决方案可广泛应用于测温检测、安全监控、个人视觉、智能交通、智能家居等多个领域。

6、烟台艾睿光电科技有限公司

烟台艾睿光电科技有限公司专注于红外成像技术和产品的研发制造，具有完全自主知识产权，致力于为全球客户提供专业的、有竞争力的红外热成像产品和行业解决方案。主要产品包括红外焦平面探测器芯片 、热像机芯模组和应用终端产品。公司产品广泛应用于疾病防控、工业测温、智慧安防、户外观察、汽车ADAS、物联网、人工智能、机器视觉等领域。

CMOS Image sensor， 即CMOS图像传感器和Focus 聚焦：Autofocus 自动聚焦

1、思特威（上海）电子科技有限公司

思特威（上海）电子科技有限公司（SmartSens Technology）是一家从事CMOS图像传感器芯片 产品研发、设计及服务的高新技术企业，专注于为客户提供面向未来和出色成像性能的CMOS图像传感器芯片产品。思特威自主研发出了优秀的夜视全彩技术、DSI技术以及Stack BSI的全局曝光技术等诸多优秀技术。 公司产品也不断成熟并逐步确立了在安防领域的行业地位，产品遍及安防监控、车载影像、机器视觉及消费类电子产品（运动相机、无人机、扫地机器人、智能家用摄像头）等应用领域。

2、格科微电子（上海）有限公司

格科微电子（上海）有限公司创立于2003年，是中国领先的CMOS图像传感器芯片 、DDI显示芯片设计公司，产品广泛应用于全球手机移动终端及非手机类电子产品。格科微电子是国内集成电路行业的龙头企业，其设计生产的CMOS图像传感器一直在国内出货量市场占有率排名第一。

3、豪威科技（上海）有限公司

成立于1995年的豪威科技，是一家领先的数字图像处理方案提供商，其CameraChip和ameraCubeChip系列CMOS图像传感芯片 广泛应用于消费级和工业级应用，包括智能手机、平板电脑、笔记本、摄像头、娱乐设备、安防系统、自动化和医疗系统等。

4、北京思比科微电子技术股份有限公司

北京思比科微电子技术股份有限公司是专门从事CMOS图像传感器芯片 设计、生产及销售的国家级高新技术企业，公司的核心技术为具有自主知识产权的“超级像素信号处理技术 (SuperPix) ”和“超级图像处理技术(SuperImage)”，公司率先成功研制了8万像素到1200万像素系列图像传感器芯片，打破了中国市场被国外公司垄断的局面，2017年销售近5亿元。公司未来将面向手机、安全监控、汽车影像、医疗应用、物联网等市场需求，研制高可靠性、高性能系列CMOS图像传感器芯片产品，满足产业需求。

5、比亚迪半导体有限公司

深圳比亚迪微电子有限公司2003年成立，2020年更名为比亚迪半导体有限公司，致力于IC及功率器件的开发。至今已有三大产品部门，包括电源管理类产品、CMOS图像传感器 、触摸解决方案等。比亚迪生产的CMOS图像传感器（CIS），广泛用于手机、笔记本、汽车、工业控制和医疗设备等领域。比亚迪消费类CMOS图像传感器曾每月出货量高达20KK；安防类CMOS图像传感器的月平均出货量达到2KK/M，主要应用于安防监控摄像机、IPC、车载摄像机和环境监测系统中。

6、长春长光辰芯光电技术有限公司

长春长光辰芯光电技术有限公司于2012年成立，专注于高性能CMOS图像传感器 设计、开发、测试和销售，成立至今，已经成功开发出多款高性能CMOS图像传感器，包括高分辨率大靶面GMAX系列、高灵敏度低噪声GSENSE系列、以及高速线阵GL系列，被广泛应用于科学成像、工业检测、医疗成像、天文以及紫外成像等多个领域，产品性能达到国际领先水平。同时长光辰芯光电承接芯片定制业务，为专业应用提供定制化CMOS图像传感器。

7、锐芯微电子股份有限公司

锐芯微电子股份有限公司成立于2008年2月，依托自身成熟的、具有世界领先水平的CMOS图像传感器 集成电路芯片设计以及制造工艺的核心技术，成功研发出多款图像传感器芯片，产品具有设计紧凑、芯片面积小、高灵敏度、高帧速、大动态范围、低功耗、低成本的特点，适用于消费类、安防监控成像设备、高灵敏度成像、医疗设备、机器视觉、汽车夜视等领域并达到国际先进水平。锐芯微不仅可为客户提供包括系列面阵以及线阵CMOS图像传感器等产品，还可进行CMOS图像传感器及多种IC定制设计的服务。

2Body balance 平衡&定位

Inertial systems 惯性系统

惯性传感器包括加速度计（或加速度传感计）和角速度传感器（陀螺）以及它们的单、双、三轴组合IMU（惯性测量单元），AHRS（包括磁传感器的姿态参考系统）等。

1、深迪半导体（上海）有限公司

深迪半导体（上海）有限公司是设计、生产商用MEMS陀螺仪 系列惯性传感器的MEMS芯片公司，成立于2008年8月，公司研发了拥有完全自主知识产权的先进的MEMS工艺和集成技术，专注于为消费电子及汽车电子市场设计和生产低成本、高性价比、低功耗、小尺寸的商用MEMS陀螺仪芯片，并为客户提供各种全面的应用解决方案和极其优质的服务。公司提供工业级和消费级传感器，以及相关的应用算法，应用模块和解决方案。包括AHRS模块，IMU模块，角度输出模块，导航模块；传感器融合算法，模式识别算法，智能学习算法等。

2、西安中星测控有限公司

西安中星测控有限公司成立于1996年，主营业务为传感器和物联网的研发、生产及销售。重点产品为压力传感器/变送器、惯性传感器 、物联网解决方案及可穿戴电子产品。

3、美新半导体（天津）有限公司

美新半导体（MEMSIC）是全球领先的MEMS和传感技术解决方案供应商，美新原创开发了基于标准CMOS流程的微机电系统和全球领先的制造工艺和测试技术，成功研发出20多种型号的加速度传感器、磁传感器 等产品。美新的产品以工业/汽车市场的可靠性要求作为设计标准，其已广泛应用于智能手机及消费电子、IoT设备、汽车安全系统和工业类产品等多个领域。截止到2019年底，美新的热式加速度传感器和磁传感器累计出货超过17亿颗。

4、新纳传感系统有限公司

新纳传感致力于车用和工业用电流传感器、惯性测量单元（IMU） 和精准导航定位产品的创新和研发。 通过多年的持续技术创新，公司开发出了丰富的产品线，包括基于磁阻薄膜的高频率高带宽电流传感器、高性能代码开源IMU、高精度实时动态（RTK）导航系统和厘米级精度定位服务。

5、北京微元时代科技有限公司

北京微元时代科技有限公司（简称：微元时代），成立于2011年，是一家专门从事MEMS惯性传感器 研发、生产和销售的高科技公司。微元时代的核心技术源于北京大学微纳电子学研究院惯性MEMS课题组近二十年的深厚技术积淀成果转化。公司致力于研制全国产化、自主可控的中高端MEMS陀螺仪、MEMS加速度计以及惯性MEMS组合 等系列化产品，以及为MEMS业内提供专业而细致的设计及工艺技术服务。

6、无锡北微传感科技有限公司

浙江北微是一家惯性姿态传感器 研发、制造、销售一体的高科技企业，致力于美好物联世界，拥有数百种型号的倾角传感器、电子罗盘、航姿参考系统、惯性测量单元、光纤陀螺仪、组合导航等产品，全面满足各类惯性姿态测量的需要，在国防军工、交通运输、工程机械、航空航天、能源电力、医疗器械等领域发挥了重要的作用。

7、苏州敏芯微电子技术股份有限公司

苏州敏芯微电子技术股份有限公司目前主要产品线包括MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器 。公司MEMS麦克风出货量位列全球前五位。公司产品目前主要应用于智能手机、平板电脑、笔记本电脑、可穿戴设备和 智能家居等消费电子产品领域，同时也逐渐在汽车和医疗等领域扩大应用。

8、美泰电子科技有限公司

美泰电子科技有限公司专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件 与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

9、武汉飞恩微电子有限公司

飞恩微电子是一家MEMS传感器芯片 及系统产品供应商，公司以汽车电子、工业电子和消费电子产品为核心业务，提供芯片（专用集成电路芯片、MEMS芯片）、MEMS传感器、MEMS传感器系统产品、测试设备等四大类产品，以及ODM/OEM服务。

10、苏州明皜传感科技有限公司

苏州明皜传感科技有限公司是国内MEMS传感器技术的创新者和开拓者。明皜传感主要从事MEMS传感器的研发、设计和生产，并提供相关技术服务。主要产品有：加速度传感器、陀螺仪、压力传感器和磁传感器 ，旨在为消费电子、汽车电子、工业自动化以及航空等领域提供所需的产品和集成方案。

11、上海矽睿科技有限公司

上海矽睿科技有限公司成立于2012年9月，专注于MEMS智能传感器业务，设计和生产优质传感器产品，并为客户提供相应的智能应用方案和服务。公司产品包括加速度传感器、磁传感器、气压高度计、陀螺仪、霍尔传感器、角度传感器、光感传感器、组合惯性传感器和相关智能传感系统 。公司自2012年成立以来，以应用于智能手机、平板电脑、可穿戴设备等消费领域市场获得了高速增长。

12、湖南格纳微信息科技有限公司

湖南格纳微信息科技有限公司（简称“格纳微科技”）于2016年5月成立，是一家以微惯性导航系统和多传感器融合为核心技术，以定位、导航、环境感知为主营业务的高新技术企业，立足以低成本的通用MEMS惯性传感器 为基础，达到不依赖导航卫星、外部基站、指纹数据库的高精度自主室内定位，并融合北斗/GPS、UWB、蓝牙、WiFi、激光等实现室内外“全域定位”。格纳微科技研发了具有完全自主知识产权的一系列微惯导自主定位产品和“微惯导+”融合定位导航解决方案，精度和稳定度稳居业内领先地位，产品和方案可广泛应用于消防、应急、军警单兵定位，港口、石化、电力、冶金、隧道人员定位，自动驾驶、辅助驾驶高精度定位，无人机、机器人、AGV、割草机、特种车辆定位测向等领域。

13、北京星网宇达科技股份有限公司

北京星网宇达科技股份有限公司成立于2005年5月，专注惯性技术 创新应用及产业化。公司成立十余年来，始终坚持以惯性技术为中心，行业应用为驱动，构建涵盖惯性导航、卫星导航、光电探测、雷达探测、红外探测、声呐探测、气象探测、卫星通信、AIS/VDES、智能驾考/驾培系统、无人车、无人机、无人船等产品的业务体系，在军民两大领域实现立体式全覆盖，致力于成为惯性技术领域国内外一流的领军企业。

14、杭州士兰微电子股份有限公司

杭州士兰微电子股份有限公司是专业从事集成电路芯片设计以及半导体微电子相关产品生产的高新技术企业。公司目前的产品和研发投入主要集中在以下三个领域：基于士兰芯片生产线高压、高功率、高频特殊工艺的集成电路、功率模块(IPM/PIM)、功率器件及（各类MCU/专用IC组成的）功率半导体方案。

MEMS传感器 产品、数字音视频和智能语音产品。光电产品及LED芯片制造和封装（含户内外彩屏和LED照明）。

3 Audio 听觉&语音

Ultrasonic 超声波、Microphones 麦克风；Speech 语音：Microspeakers 微型扬声器

1、茂丞科技(深圳)有限公司

茂丞科技(深圳)有限公司（J-Metrics）预计将在今年下半年以晶圆级封装技术，发布2 mm x 2 mm x 0.9 mm全球最小封装体积的芯片级超声波传感器 ，以实现智能眼镜、耳机、智能手表等可穿戴设备，以及隔空触控和手势识别等功能，继续朝全球第一迈进，为中国智造尽一已之力。茂丞科技成立于2008年，依据生物识别市场需求及前瞻性考虑，以微小化、节能、功能精细敏锐及便利使用为原则，致力于以芯片级超声波传感器为基础来完成距离侦测、手势识别 、指纹识别等相关应用的开发。

2、智驰华芯（无锡）传感科技有限公司

智驰华芯（无锡）传感科技有限公司位于无锡国家高新技术产业开发区，是一家专注于汽车无人驾驶、工业物联网、人工智能和航天航空等领域传感器研发和生产的高科技公司。公司目前已经成功实现机油/汽油压力传感器、24GHz毫米波雷达物位计和200/300/500KHz超声波传感器 及高精度超声波气体流量传感器 的研发及量产。

3、歌尔声学股份有限公司

歌尔股份有限公司成立于2001年6月，要从事声光电精密零组件及精密结构件 、智能整机、高端装备的研发、制造和销售，目前已在多个领域建立了综合竞争力。

4、瑞声科技控股有限公司

瑞声科技控股有限公司是全球著名的电声元器件 制造商之一，公司从1993年开始至今，掌握了电声元器件的设计和制造的领先技术，积累了丰富经验· 今天AAC提供不同产品领域所配套使用的扬声器、受话器、讯响器、麦克风、微型振动马达和耳机等等。

5、无锡芯奥微传感技术有限公司

无锡芯奥微传感技术有限公司成立于2010年，目前产品线：硅基麦克风 ，目标市场涵盖消费类电子、医疗、工业控制及汽车电子等领域。

6、共达电声股份有限公司

共达电声股份有限公司是专业的电声元器件 及电声组件制造商、服务商和电声技术整体解决方案提供商，主要产品包括微型麦克风、微型扬声器/受话器及其阵列模组，广泛应用于移动通讯设备及其周边产品、笔记本电脑、平板电视、个人数码产品、汽车电子等消费类电子产品领域。

7、汉得利（常州）电子股份有限公司

汉得利（常州）电子股份有限公司自创立以来，始终专注于电子元器件、发声器件、超声器件和压电陶瓷晶体等微电声 领域的研发和制造，主要产品包括汽车蜂鸣器、汽车报警器、贴片式蜂鸣器、有源蜂鸣器、无源蜂鸣器、手机扬声器、微型振动马达、微型麦克风、受话器、传感器、陶瓷元器件等，广泛应用在移动通讯设备、汽车、家用电器和医疗器械等领域。

8、华景传感科技（无锡）有限公司

华景传感科技（无锡）有限公司成立于2010年，公司拥有自主MEMS传感器芯片技术和知识产权，并建立了先进的传感器生产线。华景传感拥有全资子公司-上海迈感微电子和无锡华景科技。公司目前主要产品为硅麦克风系列 （华景科技品牌）和压力传感器系列（华景传感品牌)。硅麦克风产品性能优异，已供货给数家国内知名公司。压力传感器系列产品包括芯片和模块，以及各类汽车压力传感器组件等，汽车传感器组件产品已进入国内知名电动汽车品牌。

4Fluids 关节控制

Micropumps 微型泵、Biochips 生物芯片；

1、苏州原位芯片科技有限责任公司

苏州原位芯片科技有限责任公司成立于2015年，公司专注于新型MEMS芯片与模组 的研发、生产和销售。掌握40多项领先MEMS技术，拥有芯片设计、工艺开发、流片生产和测试的全流程自主研发、自主生产能力。公司已推出多款打破国外垄断产品，其中自主研发的氮化硅薄膜窗口产品凭借优异的薄膜洁净度和高强度，获得广大TEM和同步辐射研究人员的高度好评。

2、博奥生物芯片有限责任公司

博奥生物以生物芯片 为核心技术平台，拥有临床诊断产品研发、生产、销售以及全国第三方独立医学实验室服务为一体的大医学完整产业链，博奥生物除与国内近百家知名三甲医院、医科大学、公安和司法机构建立了战略合作，还与罗氏应用科学、罗氏诊断、热电等国际生命科学和医学诊断领域的知名公司建立了伙伴关系。

3、上海生物芯片有限公司

上海生物芯片有限公司成立于2001年8月，通过十余年的建设和发展，确立了以生物样本资源库、组织芯片、基因表达谱芯片 和测序等为核心平台的技术创新服务体系，以分子医学诊断技术和产品研发生产为核心竞争力的产业化体系，形成科研和药物研发技术服务、分子医学检验服务和分子诊断产品研发生产销售三大主营业务。公司（中心）已经步入了科研与合作、产品研发生产销售和技术服务以及开展国际合作和人才交流培养等良性发展轨道，具备了自主创新、完全市场竞争、为行业服务贡献的能力。

5 RF communication 射频通信

Oscillators, tuners, switches & filters 振荡器、调谐器、开关和滤波器

1、无锡市好达电子有限公司

无锡市好达电子有限公司是知名的声表面波器件 生产厂商，主要产品包括声表面波滤波器、双工器、谐振器，应用于手机、通信基站，LTE模块，物联网，车联网，智能家居，及其它射频通讯领域。

2、苏州能讯高能半导体有限公司

苏州能讯高能半导体有限公司致力于宽禁带半导体氮化镓电子器件技术与产业化，为5G移动通讯、宽频带通信等射频微波 领域和工业控制、电源、电动汽车等电力电子领域等两大领域提供高效率的半导体产品与服务。

3、北京昂瑞微电子技术有限公司

昂瑞微创办于2012年7月，是中国领先的射频前端芯片和射频SoC芯片 的供应商，每年芯片的出货量达7亿颗。公司专注于射频/模拟集成电路和SoC系统集成电路的开发，以及应用解决方案的研发和推广。主要产品：2G/3G/4G/5G全系列射频前端芯片（射频前端模组PAMiD/PAMiF、L-FEM、MMMB、TxM、PAM等，以及射频开关、低噪声放大器、天线调谐器等）、物联网无线连接SoC芯片（蓝牙BLE、蓝牙Audio、双模蓝牙、2.4GHz无线通信芯片等）。射频前端芯片支持高通、联发科、展讯、翱捷、海思、中兴微、英特尔等基带平台。产品应用于手机终端、平板电脑、智能穿戴、无线蜂窝通信模块、无线键鼠、无人机、遥控玩具、智能家电、智能家居、Mesh灯控、蓝牙健康产品、蓝牙智能门锁等消费类产品。

4、诺思（天津）微系统有限公司

诺思（天津）微系统有限公司成立于2011年，公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片 、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售，核心产品具有国际领先水平。

5、深圳飞骧科技有限公司

深圳飞骧科技有限公司由上市公司国民技术有限公司无线射频事业部2015年5月拆分独立而来，原名深圳国民飞骧科技有限公司，致力于成为一家专注射频芯片和解决方案 的公司。2018年2月正式更名为深圳飞骧科技有限公司。至2017年射频产品累计出货量超数亿颗。飞骧团队深耕功率放大器(PA)等射频IC领域，拥有8年多的射频产品的开发和销售经验，已经成长为国内一流的射频芯片厂商。深圳飞骧科技有限公司将继续加大投入无线射频相关领域，做大做强4G市场，重点开发5G产品，打造性能领先、品质优良、性价比突出的中国芯。

6、北京紫光展锐科技有限公司

紫光展锐致力于移动通信和物联网领域核心芯片 的研发及设计，产品涵盖2G/3G/4G/5G 移动通信芯片、物联网芯片、射频芯片、无线连接芯片、安全芯片、电视芯片等多个领域。

7、唯捷创芯（天津）电子技术股份有限公司

唯捷创芯（天津）电子技术股份有限公司成立至今一直专注于射频前端及高端模拟芯片 的研发与销售，产品主要应用于智能手机等移动终端，是手机中的核心芯片之一。目前公司拥有完全独立知识产权的 PA、开关等终端芯片已经大规模量产及商用，截至目前已累计销售超过 13 亿颗芯片，年销售额超过4亿人民币。最新发布的新一代 4G 射频模组的关键性能指标更是达到了业内领先的水平。

8、江苏微远芯微系统技术有限公司

江苏微远芯微系统技术有限公司于2015年12月26日成立，主要从事毫米波雷达的芯片 及微系统产品研发、生产、销售和服务，具备全部的毫米波单芯片设计能力，具备芯片设计及相关信号处理的足够的技术积累和相关IP。

9、苏州希美微纳系统有限公司

苏州希美微纳系统有限公司成立于2013年，致力于RF MEMS产品 ，包括RF MEMS开关、移相器、衰减器等的设计、制作及其应用推广。希美提供各种低成本、高可靠性的RF MEMS产品，同时为您提供RF MEMS开关、移相器、滤波器、天线等产品的设计、制作、封装及各种RF MEMS产品相关解决方案。

6 Smell 嗅觉

Gas sensors & electronic noses for VOC, alcohol,CO, CO2, NOx ... VOC、酒精、CO、CO2、NOx 气体传感器及电子鼻

1、武汉巨正传感器科技有限公司

武汉巨正传感器科技有限公司是武汉巨正环保科技有限公司旗下子公司之一。巨正MEMS气体传感器 批量制造，替代进口产品，并通过持续研发，实现产品国际领先水平。这种新型的气体传感器将MEMS技术和纳米技术结合起来，具有小尺寸、低功耗、快速相应、高灵敏度、高选择性、高稳定性、低成本，是便携式应用和高密度实时监控应用的理想选择。

2、汉威科技集团股份有限公司

汉威科技集团股份有限公司是国内知名的气体传感器 及仪表制造商、物联网解决方案提供商，建立了以传感器为核心，覆盖多门类检测仪表及行业物联网应用的整体布局；应用行业分布广泛，涵盖石油、化工、冶金、环保、采矿、电子、电力、制药、食品、医疗卫生、农业、燃气、市政工程、家庭安全与健康、公用场所、道路安全管理、污水处理、生物科学、航天航空、军事反恐等领域，用于防火防爆、环境检测、预防中毒、污染监测、环境治理、改善人居环境，为行业客户HSE管理体系的建立、工业、民用和个人安全防护提供适合、优质、高性价比的产品与方案。为环境检测与治理，健康家居生活、提供完善的解决方案和服务。

3、四方光电股份有限公司

四方光电股份有限公司是一家专业从事气体传感器 、气体分析仪器研发、生产和销售的高新技术企业。公司开发了基于非分光红外（NDIR）、光散射探测（LSD）、超声波（Ultrasonic）、紫外差分吸收光谱（UV-DOAS）、热导（TCD）、激光拉曼（LRD）等原理的气体传感技术平台，形成了气体传感器、气体分析仪器两大类产业生态、几十款不同产品，广泛应用于国内外的家电、汽车、医疗、环保、工业、能源计量等领域。

4、苏州慧闻纳米科技有限公司

苏州慧闻纳米科技有限公司是一家从事智能气体传感器 研发、生产和销售，同时提供人工嗅觉解决方案的企业。目前已研发出针对多种有毒有害气体（如甲醛、酒精、氨气、一氧化碳、氮氧化物、硫化氢、甲烷、TVOC 等）的传感器芯片及相应的检测模块，在昆山建成了年产千万级芯片的MEMS气体传感器生产线。公司开发的多通道气体传感阵列芯片及其检测系统具有功耗低、体积小、灵敏度高、选择性好、智能化、可集成等诸多优点。目前通过集成于智能手机中，使手机具有“嗅觉”功能，可对环境气体进行自动识别和定量检测。公司接下来在不断拓展传感器检测气体种类的同时，还将在精准识别、精确检测上不断完善，让微型模块化的“电子鼻”系统能够集成到越来越多的智能终端设备中，积极拓展在人工嗅觉领域的应用。

5、武汉微纳传感技术有限公司

武汉微纳传感技术有限公司是一家专注于气体感测解决方案，集研发、生产、销售为一体的高新技术企业。公司主要生产基于MEMS芯片技术的各种类型气体传感器 ，以及其应用产品。气体传感器产品可广泛应用于工业安全、食品安全、医疗、智能家居、通风空调、安防、汽车、航空、智能终端、可穿戴设备、物联网等诸多领域，可实现有害气体预警及节能减排。

6、合肥微纳传感技术有限公司

合肥微纳传感技术有限公司是一家专注于MEMS气体传感器 研发、生产和销售的高科技企业，始终专注于MEMS气体传感器和流量传感器的研究与发展，是国内一流MEMS传感器及解决方案供应商。公司为市场提供高性能MEMS微型加热器、MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器等专业产品和服务。公司产品具有低功耗、小体积、高灵敏和快响应等特点，在家电、汽车和智能穿戴等领域，为客户提供全新的使用体验和商业价值。

7、苏州诺联芯电子科技有限公司

苏州诺联芯电子科技有限公司是专注于气体检测技术和产品的高科技公司，公司的核心技术包括：高灵敏度非色散红外气体传感器（NDIR） 、MEMS红外光源、MEMS微加热器 等。同时，在晶圆级红外气体传感器、红外光源阵列、气体传感器智能变送板方面具备多项专利和技术储备。公司的气体传感器产品广泛应用于医疗、大气污染检测、工业安全、电力电网、石油化工等领域。MEMS红外光源产品应用于国防、航天、安全等领域。

8、深圳市戴维莱传感技术开发有限公司

深圳市戴维莱传感技术开发有限公司是一家集研发、设计、生产、销售及服务于一体的专业气体传感器及传感器模组 生产商。公司生产的气敏传感器采用纳米材料技术制备，具有选择性高、低功耗、工作点稳定、寿命长等优点。目前广泛应用于智能家电、智能新风系统、安全防护、车载智能化等各种应用领域。

7 Taste 味觉&体感

Humidity sensors 湿度传感器

1、广州奥松电子有限公司

广州奥松电子有限公司创立于2003年，是一家集研发、生产、销售一体化的传感器高新技术企业。主营产品有湿度电容，湿敏电阻，湿度传感器，温湿度传感器 ，气体传感器，流量传感器，水蒸气传感器，家电传感器等。另相继投入风速风向仪、雨量计、氧传感器、气体分析仪等气象传感的开发和投产。其产品广泛应用于航空、航天、军工、交通、通讯、化工、气象、医疗、农业、家电、智能制造等领域。

2、郑州炜盛电子科技有限公司

郑州炜盛电子科技有限公司成立于2003年，是一家集研发、生产、销售及气体传感器应用方案服务为一体的高新技术企业，炜盛产品包括红外气体传感器、电化学气体传感器、平面半导体气体传感器、载体催化元件、半导体气体传感器、流量传感器、热释电传感器、热传导气体传感器、固体电解质气体传感器、热线型气体传感器、压力传感器、MEMS传感器 等十二大系列，200多个品种，共可用于检测气体300余种。炜盛产品在车载可燃、毒性气体、污染物、家居的CO、CO2、甲醛有机物、农业沼气、蔬菜、农业大棚、畜牧养殖业、粮食加工存储等领域的应用更加广泛并不断开拓新的方向。

8 Pressure 压感

Pressure sensors压力传感器

1、盾安传感科技有限公司

盾安传感科技有限公司是一家从事传感器研发、生产、销售的高科技企业。盾安传感科技有限公司的业务涵盖MEMS传感器 在汽车、暖通空调与制冷、工业、医疗、能源、航天等多个领域的应用与销售。

2、麦克传感器股份有限公司

麦克传感器股份有限公司，作为中国半导体压阻式压力传感器 的行业领袖，拥有数十年扩散硅压力传感器、变送器的设计研发和生产制造经验，为顾客提供各种专用传感器与监测解决方案。产品覆盖压力传感器、变送器、电磁流量计、温度仪表、手持设备、物联网末端采集与无线传输装置，是与世公认的高品质、可信赖的传感器和监测系统解决方案提供商。

3、龙微科技（无锡）有限公司

龙微科技（无锡）有限公司是一家致力于MEMS芯片、高端传感器、物联网，一体化运营的综合性高新技术企业。公司形成了MEMS压力、温度、湿度传感器三大系列产品；工业级高精度传感器、环境监测传感器等核心产品达到国际水平。产品被逐步应用于工业控制、高端装备制造、汽车电子、医疗、气象、消费电子等多个领域，得到企业级市场客户的一致认可。

4、苏州纳芯微电子股份有限公司

苏州纳芯微电子股份有限公司是国内领先的信号链芯片及其解决方案提供商，聚焦于传感器与数字隔离领域。公司在MEMS、微小信号采集、混合信号链处理以及传感器校准等领域拥有独立知识产权和丰富IP积累，已先后推出多款应用于加速度传感器、高度计、工业变送器、汽车压力传感器 的信号调理ASIC，现已成功推出多款数字温度传感器、集成式压力传感器芯片 产品。数字隔离领域，纳芯微已成功量产标准数字隔离芯片、I²C双向数字隔离芯片及485接口隔离芯片等多款产品，并取得众多一线系统厂商的认可。未来将推出隔离CAN、隔离运放等产品，扩展多种应用，为客户提供更多选择。

5、上海芯敏微系统技术有限公司

上海芯敏微系统技术有限公司成立于2006年，是一家从事基于MEMS (微机电系统) 技术的传感器芯片的研发、生产和销售的技术型公司。公司拥有独立自主的产品开发团队，在扩散硅压力传感器等传感器芯片 与红外热电堆及其封装技术领域具有雄厚的技术力量并拥有相关的自主知识产权。作为专业的MEMS传感器厂商，芯敏建立了扩散硅的DIE-压力传感器芯片-压力传感器模块的完整产品线，能为客户提供压力传感器die（裸片 ）、so-8和产品线，能为客户提供压力传感器die（裸片 ）、so-8和dip-6的塑封芯片、高精度宽温压力传感器模组,在电子血压计、胎压计、汽车进气压力传感器等细分市场处于国内领先地位。我司自主知识产权的红外热堆集成了200对热电偶，达到国际先进水平，提高了对红外线的灵敏度，并在热堆基础上开发了红外CO2传感器模组，目前大量应用于教学装备、新风系统，室内环境监测，农业大棚，智能楼宇等领域。

6、无锡芯感智半导体有限公司

无锡芯感智半导体有限公司是一家致力于MEMS传感器研发与生产的企业，公司自成立以来已成功开发出扩散硅压力敏感芯片、SOI高温压力敏感芯片、压力传感器 、压力传感器模块、压力变送器、红外传感器等系列产品，广泛用于医疗电子、汽车电子、家电、净化设备、水泵、空压机、气象、移动设备以及工业自动化等领域。

9 Touch 触觉

Force, haptic & touch sensors 触觉传感器

1、深圳市汇顶科技股份有限公司

汇顶科技是一家基于芯片设计和软件开发的整体应用解决方案提供商，目前主要面向智能终端、物联网及汽车电子领域提供领先的半导体软硬件解决方案，是安卓阵营应用最广的生物识别解决方案 提供商。

2、欧菲光集团股份有限公司

欧菲光集团股份有限公司成立于2002年，公司主营业务包括微摄像头模组、指纹识别模组 等微电子业务、触摸屏与触控显示全贴合模组和智能汽车电子产品与服务，广泛应用于以智能手机、平板电脑、智能汽车和可穿戴电子产品等为代表的消费电子和智能汽车领域。

以上国产MEMS资料源自厂商官网，仅占很小一部分。MEMS是物联网感知层的关键器件，也是万物互联、人机交互的核心基础。MEMS技术是用微电子微机械加工出来的、采用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。它包括速度、压力、湿度、加速度、气体、磁、光、声、生物、化学等各种传感器。相信未来中国将诞生更多的MEMS原厂，为感知万物助力。

图2 MEMS传感器分类（来源：前瞻产业研究院）

据IC Insights统计，2019年全球MEMS产业市场销售额超140亿美元，同比增长10%，预计未来几年全球MEMS市场将以15%的年复合增长率增长，到2023年市场规模突破200亿美元。

图3：全球MEMS市场规模统计及预测（来源：IC Insights）

近年来，受益于消费电子类产品，如智能手机、平板电脑、TWS耳机等产量保持稳定增长，带动加速传感器、陀螺仪、硅麦等MEMS行业需求的增长，中国是全球MEMS市场发展最快的国家。据赛迪智库统计，2018年中国MEMS整体市场规模达到504.3亿元，预计到2021年将达到851.1亿元。

图4：中国MEMS行业市场规模及预测（来源：赛迪智库）

深圳作为世界级的电子制造之都，在汽车电子、智能手机、智能穿戴、生物医疗、机器人、AR/VR、无人机、卫星及工业互联网等领域拥有大批知名厂商，对各类MEMS传感器存在巨大市场需求量，下游应用市场规模全国最大。

图表5 深圳市MEMS传感器下游应用企业（来源：智能经济研究所）

万物互联时代，是下游场景应用定义和驱动芯片设计的时代，中国MEMS芯片厂商迎来弯道超车的良好机遇，应用与科技创新是取胜之道。拍明芯城作为快速撮合的元器件交易平台，除了持续为客户提供更全面的产品、更优的价格和更广泛的信息，也不断引进优秀的国产品牌，为电子工程师新品设计推荐国产元器件，发挥桥梁纽带作用，为中国芯发展助力。

参考资料：

1、【产业洞察】深圳市MEMS产业发展白皮书（2020年），作者：陈祖永 孙顾珉；

2、2019年中国MEMS传感器行业市场现状与发展趋势分析，前瞻产业研究院，作者：黄斌城。

物联网应用再结硕果！“天琴一号”装上无锡造传感器

无锡物联网应用再结硕果！新年之际，位于无锡高新区的智驰华芯（无锡）传感科技有限公司收到中国航天科技集团第五研究院的“新年贺卡”：感谢智驰华芯配合该所在“天琴一号”卫星相关单机研制过程中做出突出贡献。无锡企业研发的MEMS传感器使卫星空间控制精度由机械式传感器的5%提升到MEMS传感器的1%，具有标杆意义。

“天琴计划”由三颗完全相同的卫星构成，每颗卫星都在以地球为中心、半径约10万公里的轨道上运行。三颗卫星围绕地球构成等边三角形编队，犹如在太空中架了一把竖琴，宇宙中的引力波传过来，则会拨动“琴弦”。通过高精度的激光干涉测量等技术测得三颗卫星的距离和位置变化，就能获取该引力波数据，了解其背后的天文事件。

2018年，这项“国家任务”核心器件关键技术研究落到智驰华芯（无锡）传感科技身上。“国外高端传感器成本高、不外销，但‘天琴一号’必须借此东风上天！”智驰华芯董事长、总经理胡国俊博士表示，航天五院在全国范围遴选有能力进行高端传感器研发、生产的供应商时，通过论文、专利和实地考察进行综合筛选，智驰华芯最终被选中。

“卫星空间定位，之前靠机械传感器，精度为5%；改用MEMS传感器后，精度为1%。”在采访中，胡国俊反复强调“进口替代”、“自主研发”两个词，也正是基于此，这家没有“保密资质”的无锡企业，凭借在物联网高端应用研发领域的实力，通过“例外放行”拿下“上天”第一单。

这是一次尝试，也是一次突破。“‘天琴一号’上天前，我们心情十分忐忑：自主研发的MEMS传感器能否扛住火箭发射时的巨大震动、能否在极端环境下正常运转，每一个细节都经过再三推敲；成功发射后，心里一块石头才落了地。”胡国俊表示。

在采访中得知，智驰华芯这次研制的MEMS传感器是“天琴一号”六大核心关键技术之一，这一技术不仅助力“天琴”上天，还可广泛应用于医疗、化工等民用领域。除此之外，该公司主要产品覆盖工业毫米波雷达、机油/汽油压力传感器和MEMS超声波传感器等多项技术领域，部分技术国内领先、世界先进。

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