高精度镀膜——RF离子源

国泰真空全自主研发几年时间

设计出GTRF-17和GTRF-23两款大功率RF离子源，

提供高质量薄膜和稳定的工艺操作。

打破了国外市场对国产镀膜行业的技术封锁，同时也激励了国内的同行制造业。

RF离子源-首先使用13.56MHz高频信号激励电离子体，

产生等离子体，然后分别抽出离子、电子，

让其在空间内中和形成等离子体的高能离子源。

主要运用于高度控制的光学镀膜的离子束辅助沉积或离子束沉积

国泰真空设计制造的RF离子源利用多层立体栅网确保离子束方向性，支持离子束流和能量分别独立控制。

具有工作时间长，能量高，均匀区大，污染小等优点。

水煮15分钟，曲线无基本变化;镜片粘拉后未发现膜掉情况

射频离子源通过改进能量和电流的均匀度，

提高了膜层的堆积密度和材料的氧化度。

抑制温度漂移、波长漂移以及解决了膜层牢固度和膜料折射率等问题。

适用于半导体、航天、光通讯、医疗、传感器等多个高端镀膜应用。

客户案例 博顿光电高能离子源在国内外多种镀膜机型改造实例分享

随着精密光学终端市场需求的日新月异，光学镜头等元器件的工艺变革周期越来越短，产业链下游的加工制造商对工艺快速适应变化、指标优异、精益生产及成本控制的要求越来越高。在光学镀膜领域，众多的镀膜加工企业有数万台的镀膜机存量 ，在新工艺需求及生产运营水平优化的驱动下，无论是用国内还是国外镀膜设备，都亟需工艺升级 ，以满足新的产品指标要求，以及提高产品良率。基于快速变化的市场需求，博顿光电高能离子源协助镀膜加工客户，将已有的镀膜机进行改造升级 ，盘活资产 ，目前已有国内外多种镀膜机型升级的众多成功案例 ，有着丰富的经验。

博顿高能离子源改造升级镀膜设备有五大优势：

1

接口开放

开放型接口，无缝对接国内外主流设备接口

博顿光电高能离子源配备开放型接口，满足客户多种安装需求，无缝对接国内外主流设备接口，包括：原机器法兰改造安装、原机器预留空位安装、根据预留孔位大小定制接头安装，可适应多种场景，极大提升改造效率 。

2

兼容性强

可灵活适配多种机型，满足各类应用场景和市场需求

博顿光电高能离子源兼容性强，短短几年，推向市场的HIT系列和RISE系列已改造过多种镀膜机型，如国外的日本光驰 、日本新科隆 、日本昭和 、韩国联合 、韩国韩一 ，及国内的台湾富临 ，国产国泰 ，国产兴南 等多种品牌和机型，满足多领域客户工艺升级的需求。

3

智能操控

多种通讯方式，实现镀膜机自动操作控制

区别于一般的旧机改造多用IO的简单控制居多，博顿离子源有多种通讯方式 ，包括：IO / RS232 / RS485 ，可与各种品牌型号镀膜机实现自动控制，智能操作。

4

性能优异

工艺参数优化，助力设备性能大幅提升

目前，整个行业对镀膜产品的工艺性能要求不断提高，生产技术也在不断提出高标准、高要求。镀膜技术是一项非常复杂的技术，各个镀膜厂商需要不断改进设备及工艺升级，才能满足日益提高的市场需求。

客户端的典型工艺曲线展示

性能提升可大幅度提高产品价值 ，以IRCF红外截止滤光片为例，没有离子源辅助的高温镀滤光片，市场价格在10-15元；使用射频离子源辅助的离子镀滤光片，市场价格在20-25元，单片价格提升5元以上；1550镀膜机每炉可装载190片左右，每天可生产5炉左右，加装博顿射频离子源后，每台1550镀膜机每天可增值4750元 左右，每月可增值14万 左右，每台1550镀膜机加装博顿射频源每年可增值150万以上 。

5

现场服务

全方位立体服务，FAE现场维护设备运行

为保证改造升级镀膜设备的稳定运行，博顿提供技术人员到客户现场免费培训 、维修跟进的售后服务 ，只要客户有需求，博顿的技术人员会第一时间到达现场，协助客户排查疑问，提供全方位立体服务，最大程度解决客户后顾之忧。

短短几年，博顿光电高能离子源凭借领先的技术实力，为众多镀膜设备品牌进行合理改造，协助客户大幅度提高设备整体技术性能 ，提高工作效率 ，同时节约资金 ，达到事半功倍的效果 ，得到了业内同行的一致赞誉，在市场客户中树立了良好的品牌口碑。

博顿光电高能离子源在国内外多种镀膜机型改造的成功，为镀膜工艺升级探索出一条新路 ，对行业具有重要意义。未来，博顿光电还将在微纳加工领域的道路上不断探索，着力把技术创新应用于更多环节，为推动行业高质量发展贡献力量。

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关于博顿光电

“博顿光电”是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的创新型高科技企业 ，2019年认定为国家高新技术企业，核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备国内顶尖的专业技术研发与设计能力，在国内离子束技术与装备产品领域处于第一梯队，已开拓和积累了上百家行业典型客户。公司主营业务与产品为：

博顿光电致力于通过高端离子源核心技术及离子束装备的国产化，在离子束微纳加工核心部件与整机装备细分领域取得突破、成为行业“单打”冠军，打破国外垄断，解决国内在高端离子源及离子束设备领域“用不上”和“用不起”的行业困局，从上游核心部件解决精密光电行业的“卡脖子”问题 ，有力支撑我国精密光学、光通信、OLED、半导体等战略性产业的创新和发展升级，带动相关产业和行业的能力与价值提升。

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